SAES® 게터 및 ST마이크로일렉트로닉스멀티축 MEMS 자이로스코프를 위해 양사의 기술 통합

2007년 05월 31일

MEMS 통합 IC는 실리콘의 독특한 전기 및 뛰어난 기계적 특성 모두를 개척함으로써 반도체 산업을 혁신시키고 있다. 실리콘의 전기적 특성은 지난 40-50년간 반도체 비지니스의 기반으로서 역할을 한 반면, 기계적 특성은 상대적으로 최근에 나타나고 있다. 인간의 머리카락 보다 직경이 좁은 MEMS 자이로스코프는 상대적으로 미개척 분야이다. 각속도를 측정하는 디바이스인 새로운 자이로스코프는 고객에게 완벽한 관성 센서 플랫폼을 제공하는 ST의 2축 및 3축 MEMS 가속도계 포트폴리오를 더욱 완벽하게 해준다. ST의 MEMS 자이로스코프는 소형 크기, 고감도 및 저전력 소모 기능이 결합되었으며, 휴대폰, 휴대형 기기, MP3/MP4 플레이어, PDA, 게임기 및 네비게이션 기기 등의 광범위한 컨슈머 애플리케이션에 새롭게 채택될 것이다. ST는 2008년 상반기에 양산에 돌입할 예정이다.

자이로스코프 시장은 애플리케이션 분야가 증가함에 따라 급속히 커지고 있다. 차량 자세 제어 시스템 (automotive electronic stability systems) 및 GPS 리시버 외에도, 산업 분석가들은 MEMS 자이로스코프가 휴대형 통신 기기의 모션 유저 인터페이스, 캠코더 및 디지털 카메라의 흔들림 방지 기능 (image stabilizers)와 같이 컨슈머 부문에 채택되기 시작할 것이라고 예측한다. 분석가들은 MEMS 자이로스코프 시장이 2006년 4억 달러에서 2012년 12억 달러까지 향후 5년간 3배 성장할 것으로 예상한다.

ST마이크로일렉트로닉스는 2006년 11월 이탈리아 밀라노 아그라떼 (Agrate) 지역에 MEMS 제품 전용의 최첨단 200mm (8인치) 반도체 웨이퍼 공정 라인을 준공하였다. ST의 1세대 자이로스코프는 현재 시험 생산 및 품질 인증중이며, 리니어 가속도계 제품군과 함께 생산라인을 공유하게 될 것이다.

SAES는 최근 이탈리아 라이나떼 (Lainate)의 본사에 위치한 자사의 PageWafe 생산 라인에 기존의 4, 5, 6인치 기술 이외에 8인치 웨이퍼 기술을 추가하였다. SAES의 8인치 웨이퍼 처리 라인은 2006년말에 양산을 위한 전가동에 들어갔으며, 이미 ST의 8인치 웨이퍼 라인을 가동하고 있다.

PageWafer는 웨이퍼 대 웨이퍼로 완전 밀봉된 MEMS 제품 내부의 진공 또는 불활성 가스 기압의 안정성을 장기간 보장하기 위해 SAES 게터 그룹에 의해 개발되어 왔다. PageWafer는 몇 마이크론 두께의 패턴화된 제터막이 있는 웨이퍼로 구성되어 있으며, 이 웨이퍼는 고객의 요구에 따라 모양 및 두께가 결정되는 특정의 움푹한 곳 위에 자리잡는다. PageWafer는 MEMS 패키지의 캡웨이퍼 (cap wafer)처럼 작동함으로써, H20, O2, CO, CO2, N2 및 H2 등의 모든 활성 가스 수착 (sorption) 최대화를 제공한다. 8인치 포맷과 같은 큰 기판에 통합되는 제터막 기술의 특별한 장점으로는 균등한 압력 배분 및 대폭적인 공정 시간 단축이다.

SAES 게터는 PageWafer 기술 공급 이외에도, ST마이크로일렉트로닉스에게 진공 요건 규정에 따라 밀봉 패키지 디자인 및 특성에 대한 기술 컨설팅을 지원하며, 배출 및 잔여 가스 분석 서비스를 제공하게 된다.

SAES 게터의 MEMS 사업 개발 매니저인 마르코 모라자 (Marco Moraja)는 “SAES 게터는 ST마이크로일렉트로닉스와 같은 전세계 MEMS 시장의 핵심 업체와 협력하게 되어 매우 기쁘게 생각한다. 컨슈머 전자에서 MEMS 모션 센서 시장은 SAES 게터의 가장 도전적인 분야이며, ST마이크로일렉트로닉스의 첨단 MEMS 자이로스코프에 PageWafer 기술을 통합함으로써, 이미 공급중인 자동차 산업의 까다로운 애플리케이션 뿐만 아니라 MEMS 애플리케이션 적용을 위한 자사 게터막 제품의 중요한 품질인증을 확실히 보여주고 있다.”라고 설명했다.

ST마이크로일렉트로닉스의 MEMS 제품 사업부 총괄 매니저인 베네디토 비냐 (Benedetto Vigna)는 “ST는 SAES 게터와 같은 선도 기업과 오랫동안 성공적인 협력 관계를 유지해왔다. 업계 최고인 ST의 MEMS 기술에 게터막 기술에 대한 SAES의 전문 기술을 통합함으로써, ST가 급성장중인 MEMS 사업을 더욱 확장할 기회가 될 MEMS 자이로스코프에 대한 가장 정교한 품질을 ST의 고객들에게 제공할 수 있을 것이다.”라고 설명했다.