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싱글웨이퍼 습식 공정 기술 전문 업체인 SEZ 그룹이 중국의 유명 파운드리 업체로부터 SEZ 스핀공정 시스템 제품을 대량 수주했다고 밝혔다. 이들 시스템은 올해 상반기에 본격적으로 공급될 예정이다. 회사측은 또 하나의 최고 중국 파운드리 업체가 업계 최초로 SEZ의 다빈치(Da Vinci™) 시리즈 중 최신 툴인 DV-28F싱글웨이퍼 고처리량 솔루션을 도입하게 되었다고 설명했다. SEZ 아태지역 담당 헤르비그 페취니그(Herwig Petschnig) COO는 세계 굴지의 파운드리 업체들간에 SEZ의 싱글웨이퍼 습식 솔루션 및 우수한 고객지원에 대한 신뢰가 상승하고 있다는 것을 이번 수주 및 베타 테스트 성공을 통해 알 수 있다고 말했다. 이와 함께 SEZ는 IC 소비시장 중 가장 빠르게 성장하고 있는 중국 지역의 고객 기반 확대 차원에서 상하이에 고객지원 사무소를 개설했다고 밝혔다. 이와 같이 중국 지역 내 입지 강화를 통해 SEZ는 고객들의 요구에 발 빠르게 대처하고 고객지원 서비스의 효율성을 향상시킬 것이다. 이번에 설립된 중국 지사는 행정, 재정, 경영 및 세부계획을 담당하는 것을 비롯해 하우스 공정 및 서비스 엔지니어, 기술 및 영업 지원 인력을 제공할 것이다. SEZ는 중국 지역에서의 더욱 큰 성장을 위해 현재 영업 파트너인 KD 테크놀로지(상하이)와의 파트너십을 더욱 발전시켜 나간다는 계획이다. 기술 및 시장에서의 리더십 강화를 위해 SEZ가 야심 차게 선보인 다빈치 시리즈는 양산 제조 애플리케이션용 BEOL(back-end-of-line) 폴리머 제거를 위해 업계 최고의 고처리량 싱글웨이퍼 습식 공정 솔루션을 제공한다. DV-28F는 이 시리즈 중 가장 최근에 발표된 제품으로 200mm 웨이퍼상에서 BEOL 식각 잔여 폴리머 제거 기능을 수행하는 멀티 챔버 시스템이다. 최대 8개 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있는 이 시스템은 90nm 이하 기술 노드를 위해 낮은 CoO와 최대 처리량을 얻을 수 있도록 했다.