반도체 전문 온라인 매거진 - 올포칩

안리쓰(Anritsu Company)는 단일 스위프로 70kHz ~ 220GHz 까지 측정 가능한 업계 최초의 벡터 네트워크 분석기(VNA)인 VectorStar ME7838G 광대역 VNA 를 출시한다고 밝혔다. 새로운 VectorStar VNA 를 통해 엔지니어는 훨씬 광범위한 주파수에서 기기를 보다 정확하고 효율적으로 특성화하여 정확한 디바이스 모델을 제공할 수 있으므로 정확한 시뮬레이션과 설계 턴을 줄일 수 있는 기회를 최적화 할 수 있다.

새로운 VectorStar VNA 시스템이 이처럼 보다 향상된 디바이스 모델링을 위해 업계에서 가장 넓은 단일 스위프 광대역 커버리지를 일관되게 제공할 수 있었던 이유는 안리쓰의 NLTL(Non-linearTransmission Line) 밀리미터파(mmWave) 모듈을 채택했기 때문이다. 이 혁신적인 설계 덕분에 220GHz 프로브를 밀리미터파 모듈에 직접 연결할 수 있어 정확하고 안정적인 온-웨이퍼 측정이 가능해졌으며, 그에 따라 테라헤르츠(THz) 이하의 주파수에서 동축 커넥터의 한계를 피할 수 있게 됐다.

이 220GHz ME7838G 는 안리쓰의 검증된 VectorStar 광대역 플랫폼 기술을 활용함으로써,100GHz 에서부터 그 이상의 도파관 대역까지 웨이퍼 프로브 스테이션을 재구성하지 않고도 단일스위프에서의 기존 한계치를 넘어섰다. 이 설계 덕분에, 엔지니어는 동축 마이크로파 VNA 에서 동축밀리미터파 VNA 나 도파관 밀리미터파 VNA 로 전달할 필요 없이, 동일 웨이퍼 상에서 광범위한 회로들을 측정할 수 있게 됐다. 이 시스템은 도파관을 연결할 필요가 없어 전체 웨이퍼 측정 시간을 단축하고 광대역 디바이스의 측정 정확도를 향상할 수 있으며, VNA 재설정 횟수가 줄어들기 때문에 웨이퍼 프로브 스테이션 비용 효율성도 높일 수 있다.

새로운 ME7838G 는 보다 정확한 디바이스 특성화를 위해 보다 상위의 밀리미터파 주파수 대역에서 온-웨이퍼 측정을 수행해야 한다는 시장의 요구를 충족한다. VectorStar 기반 광대역 시스템은 더 정확한 모델링을 위해 DC 에 가까운 디바이스에서 작동 빈도를 훨씬 넘는 디바이스까지 특성화하여 설계 중인 시스템에 대한 신뢰를 제공한다.