삼성 파운드리, 키사이트의 노이즈 분석기 채택
2022년 11월 30일
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키사이트테크놀로지스가 삼성 파운드리에서 반도체 디바이스의 플리커 노이즈(1/f 노이즈)와 랜덤 텔레그래프 노이즈(RTN)를 측정 및 분석하기 위해 키사이트의 E4727B 고급 저주파수 노이즈 분석기(A-LFNA)를 채택했다고 발표했다. 실리콘 제조업체의 첨단 기술을 목표로 하는 삼성 파운드리 고객들은 가장 정확한 A-LFNA 데이터 기반 시뮬레이션 모델을 포함하는 프로세스 설계 키트(PDK)를 통해 무선 주파수(RF) 및 아날로그 회로를 설계 및 검증할 수 있다. 


키사이트 Pathwave 소프트웨어 솔루션 제품 관리 디렉터 찰스 플롯(Charled Plott)은 "PDK의 개발, 특히 5, 4 그리고 3나노미터의 첨단 기술 노드와 관련해 정확한 저주파수 노이즈 측정과 모델링의 중요성이 점점 더 커지고 있다"라며, "삼성 파운드리에서 키사이트의 A-LFNA를 활용해 설계 엔지니어들이 회로 설계에서 가장 높은 품질의 PDK를 확보해 한 번에 테스트를 통과하고 출시일을 앞당길 수 있다.”고 말했다. 


키사이트의 E4727B A-LFNA는 반도체 디바이스의 저주파수 노이즈를 측정하는 턴키 솔루션이다. PathWave A-LFNA 측정 및 프로그래밍 소프트웨어는 PathWave WaferPro(WaferPro Express) 측정 플랫폼을 기반으로 만들어졌다. 엔지니어는 유연하고 확장 가능한 측정 시스템에서 전체 웨이퍼 레벨 디바이스 특성화 워크플로를 관리하고 자동화할 수 있다. 그다음 엔지니어들이 시스템의 측정 데이터를 키사이트의 PathWave 디바이스 모델링(IC-CAP) 및 PathWave 모델 빌더(MBP) 소프트웨어로 가져와 PDK 개발을 위한 디바이스 모델을 추출하면 아주 정확한 RF 및 아날로그 저노이즈 회로 설계 및 시뮬레이션이 가능하다. 


삼성 파운드리는 주요 반도체 파운드리로 첨단 프로세스 기술, 검증된 IP, 설계 서비스 솔루션을 포함해 최적화된 파운드리 솔루션을 제공한다. 


삼성 파운드리 기술부문 이형진 마스터는 "우리는 신중한 기술 평가 끝에 키사이트의 E4727B A-LFNA로 디바이스 측정 품질, 효율성, 확장성을 개선하기로 결정했다"며, "키사이트의 A-LFNA는 100MHz의 주파수 대역폭을 가지고 있고 더 높은 주파수에서의 노이즈 측정을 지원한다. 또한 이전 세대의 시스템과 비교했을 때 A-LFNA의 측정 속도는 엄청나게 빠르다. 빠른 온웨이퍼 디바이스의 자동 측정 기능이 없었다면 특성화 프로세스가 굉장히 힘들었을 것이다. 정확하고 빠른 A-LFNA의 측정 기능을 통해 PDK를 더 빠르게 출시해 고객의 설계 주기를 가속화할 수 있다"고 설명했다.

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