사이버옵틱스, 세미콘 코리아서 ‘웨이퍼센스 오토 레지스턴스 센서’ 전시
2020년 01월 23일
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사이버옵틱스 코퍼레이션(CyberOptics Corporation)이 2020년 2월 5~7일 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘 코리아(SEMICON Korea)’에 반도체 장비 세트업과 진단을 위한 ‘웨이퍼센스(WaferSense) 오토 레지스턴스 센서(Auto Resistance Sensor, 약칭 ARS)’와 ‘사이버스펙트럼(CyberSpectrum)’ 소프트웨어를 전시한다.

 

‘사이버스펙트럼’ 소프트웨어와 함께 제공되는 300mm의 ARS는 반도체 전기화학 증착(Electrochemical Deposition, 약칭 ED) 애플리케이션에서 도금 셀 접촉의 저항을 실시간 측정할 수 있게 해준다. ARS는 도금 핀에 영향을 미치는 잔류물을 감지하는 켈빈 센싱법(Kelvin Sensing)(4선 저항)을 사용해 50개의 주변 개별패드로 저항 측정을 신속하게 식별하고 모니터링한다.

 

반도체 팹의 프로세스 및 장비 엔지니어는 일정 시간 후 측정된 평균 저항을 정량 분석해 장비 보수가 필요한 시기를 예측하고 장비 유지보수 주기를 단축하며, 웨이퍼와 같은 4선 저항 센서 및 ‘사이버스펙트럼’ 소프트웨어의 객관적이고 반복 가능한 데이터로 셀 간 균일성을 향상시킬 수 있다.

 

수보드 쿨카니(Subodh Kulkarni) 사이버옵틱스 사장 겸 최고경영자(CEO)는 “우리는 전 세계 반도체 팹과 장비 주문자상표부착생산(OEM) 업체에서 사용되는 독자적인 웨이퍼센스 장비 라인을 확대해 수율과 장비 가동 시간을 크게 개선했다”고 밝혔다. 그는 “새로 출시한 ARS는 무선으로 반도체 팹 내 전기화학 증착 애플리케이션에 대한 실시간 저항 측정을 감지, 모니터링할 수 있다”며 “사이버옵틱스의 다른 웨이퍼센스 장비와 마찬가지로 ARS는 시간과 비용을 절감하고 프로세스를 개선할 수 있다”고 설명했다.

 

사이버옵틱스는 ‘웨이퍼 센스 오토 바이브레이션 레벨링 센서(Auto Vibration and Leveling Sensor, 약칭 AVLS3)’도 함께 전시할 예정이다. 두께가 3.5mm에 불과한 AVLS3은 웨이퍼가 배송되는 대부분의 팹 위치로 쉽게 운송할 수 있다. 화학적 강화 유리(Chemically Hardened Glass, 약칭 CHG) 기판은 웨이퍼를 쉽게 다룰 수 있도록 해주며 진공 처킹(vacuum chucking)을 개선해준다. AVLS3과 사이버스펙트럼 소프트웨어는 진동과 조절 데이터를 동시에 수집, 보여줌으로써 신속한 장비 세트업과 실시간 장비 진단을 지원한다.

그래픽 / 영상
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